イノベーション・ジャパン2018 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
イノベーション・ジャパン2018 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
イノベーション・ジャパン2018 ~大学見本市&ビジネスマッチング~
開催2018年8月30日 (木)~31日 (金)
Home > 出展者一覧 > 株式会社オキサイド

山梨県

株式会社オキサイド

CW 266nm レーザ Frequadシリーズの開発

IoT・電子・AI

波長266nm、深紫外線個体連続波レーザの高品質化と長寿命化

小間 NI-15
プレ n0831_1_1320
出展ゾーン
NEDOゾーン
出展分野
IoT・電子・AI
小間番号
NI-15
プレゼンテーション
n0831_1_1320
8月31日(金)
NEDOプレゼンテーション スペース1
13:20 - 13:25

出展概要

製品・技術の名称
最大出力2W、世界最高クラスの出力を特長とする深紫外固体連続波レーザ

 

展示の概要
弊社独自の単結晶育成技術とレーザ技術研究の融合として、今回波長266nmのCW(連続波)レーザ製品「Frequad」シリーズを展示します。
また、数々の育成方法により自社生産した各単結晶のサンプルや、それらをベースとした波長変換デバイスも展示、光製品に関するソリューションやオープンイノベーションのご案内、その他のカタログ展示も行っています。

 

コアの技術・特許情報
シード光源として狭帯域単一周波数1064nmレーザ、増幅器としてファイバアンプを使用しています。
外部共振器はミラー位置決め素子VCM (Voice Coil Motor)アクチュエータを含む4枚の共振器ミラーと、フラックスを使わないβ-BBO結晶(化学式BaB2O4)で構成。
この外部共振器で2度の波長変換を行い266nm光を得ています。

 

特徴・ポイント
単一周波数レーザーを基本波光源とし、外部共振器で構成される高効率波長変換技術を用いています。出力と本体サイズにより、
 ・Frequad-HPシリーズ (2.0W, 1.0W, 0.7W)
 ・Frequad-Mシリーズ (1.0W, 700mW, 500mW, 300mW)
 ・Frequad-Cシリーズ (50mW, 20mW)
の3機種の製品をラインアップしました。

 

想定される提供先・提供先へのメリット
深紫外線レーザーは既に、半導体製造/検査用光源や微細加工、またラマン分光やフォトルミネンス等の分析用途等、多岐に渡り利用されています。
今後は、水銀ランプ、ガスレーザー等が主に用いられてきた分野への置き換えや、PEEM等266nmレーザーを励起光源とした光電子顕微鏡分野にも利用可能です。

 

主な実績
H27年度NEDO事業において、波長266nmレーザの高出力化を実施しました。
高出力化に対応した波長変換共振器及びBBO素子の新規設計により、従来の出力を大きく超える14Wの出力を達成しました。

 

 

世界最高クラス2Wの出力を特長とする、深紫外固体連続波レーザ

CW 266nm DUVレーザ "Frequad" シリーズ/CW 266nm DUV laser "Frequad" series

内部構造およびVCM

Frequadシリーズに採用のコア技術/Core Technology of "Frequad" series

関連URL

出展者プロフィール

設立: 2000年10月 資本金: 200百万円 従業員数: 102名
事業概要: 自社での単結晶育成をベースとした、単結晶・波長変換デバイス・レーザの開発と販売。スペックルコントラスト測定装置等、光計測機器や光デバイス全般に関するソリューション。

お問い合わせ先

株式会社オキサイド

電話:0551-26-0022   FAX:0551-26-0033  

メールアドレス:sales@opt-oxide.com

プライバシーポリシー
© 2018  イノベーション・ジャパン2018運営事務局

PageTop